驗收組首先聽取了項目、各課題的任務及財務完成情況匯報，然后進行現場檢查、測試、資料審查、質詢與討論。驗收組一致認為：中科信公司全面完成了合同書規定的研發內容，成功開發出適用極大規模集成電路12英寸生產線90-65納米工藝溝道工程和阱注入制程的大角度(中束流)離子注入機，設備的各項技術指標達到合同任務書的考核要求。驗收組同意該項目通過驗收。

　　“90-65納米大角度離子注入機研發及產業化”項目在實施過程中，以技術突破和產業化為核心，以人才隊伍培育為重點，以國內先進的集成電路生產線為工藝平臺，注重知識產權體系的建立與完善，建立了集設計、研發、制造、調試、服務于一體的裝備開發體系，實現了核心零部件國產化與整機制造工程化，同時工藝超合同要求延伸了兩個技術代(到55納米與28納米)，該項目以高分通過驗收，標志著我國離子注入裝備從關鍵技術到系統設計均實現了自主創新，并從消化吸收階段跨越到正向設計階段。彰顯了中國電科在集成電路裝備領域占領戰略制高點的決心與實力。(來源:中國電科網站)